二硼化钛(TiB2)涂层具有高硬度(可达 70 GPa)[1]、高熔点(3 500 K)[2],良好的导热性和导电性,以及出色的耐磨性和耐腐蚀性等[3]。由于二硼化钛具有出色的物理和力学性能,因此 TiB2 涂层已在切削刀具领域得到应用,特别是用于加工铝合金、镁合金和钛合金等[3-4]。此外,基于 TiB2 涂层的低密度和高热导率特性,有望应用于航空航天发动机部件[5];基于TiB2 涂层优异的耐磨性和耐腐蚀性,可应用于内燃机凸轮挺杆[6]、军用装甲[7-8]和微电子领域防铜渗透的阻隔层[9]等。 谷佳宾,周永涛,金杰,李刘合,王纪武,王珊珊.基体偏压对中频磁控溅射TiBx涂层结构及性能的影响[J].表面技术,2025,54(11):100-110.
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