【摩擦磨损与润滑】清华大学金杰教授团队:基体偏压对中频磁控溅射TiBx涂层结构及性能的影响
2025-11-10 16:19:59 作者:本网发布 来源:表面云社区 分享至:

 

第一作者:北京交通大学谷佳宾
通讯作者:清华大学金杰
第一作者单位:北京交通大学
关键词: 中频磁控溅射  TiBx涂层  基体偏压  微观组织结构  力学性能

二硼化钛TiB2)涂层具有高硬度(可达 70 GPa[1]、高熔点(3 500 K[2],良好的导热性和导电性,以及出色的耐磨性和耐腐蚀性等[3]。由于二硼化钛具有出色的物理和力学性能,因此 TiB涂层已在切削刀具领域得到应用,特别是用于加工铝合金、镁合金和钛合金等[3-4]。此外,基于 TiB涂层的低密度和高热导率特性,有望应用于航空航天发动机部件[5];基于TiB涂层优异的耐磨性和耐腐蚀性,可应用于内燃机凸轮挺杆[6]、军用装甲[7-8]和微电子领域防铜渗透的阻隔层[9]等。

图文导读

文章信息

谷佳宾,周永涛,金杰,李刘合,王纪武,王珊珊.基体偏压对中频磁控溅射TiBx涂层结构及性能的影响[J].表面技术,2025,54(11):100-110.

GU Jiabin,ZHOU Yongtao,JIN Jie,LI Liuhe,WANG Jiwu,WANG Shanshan.Effect of Substrate Bias on Microstructure and Properties of TiBxCoatings Prepared by Mid-frequency Magnetron Sputtering[J].Surface Technology,2025,54(11):100-110
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